紫外线技术

准分子紫外线照明设备SPC系列

波长：172nm

用途

  • 晶圆洗净
  • 光掩膜洗净
  • 去胶
  • 涂胶前表面改性
  • 曝光光源

紫外线激光设备QLA系列

波长：266nm-355nm

用途

  • 激光解键合
  • 去除光刻胶或改性

紫外线LED照明设备SQ系列

波长：265nm-405nm

用途

  • 光刻胶改性
  • 纳米压印光源
  • 切割胶带剥离
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